性能確認テストのみに使用した、状態の非常に良いスパッタ装置です。
本装置は設備導入時の性能確認テストのみで使用され、その後は専用倉庫にて保管しております。
稼働時間が極めて少ないため、新古品として安心してご検討いただける一台です。
新規設備導入をご検討中のお客様はもちろん、研究開発設備や予備設備としてもおすすめいたします。
スパッタ装置
＜型式：2EK500-31539-5302＞
スパッタ装置
＜型式：2EK500-31539-5302＞
✓ 性能確認テストのみの使用
✓ 稼働時間が非常に少ない新古品
✓ 保管状態も良好
✓ 真空ポンプ3台・チラー1台・専用台車 付属・
✓ すぐに設備導入をご検討いただけます
| スパッタ装置 | |
|---|---|
| 装置型番 | ２EK500-31539-5302 |
| 設備メーカー名 | エイコーエンジニアリング |
| 特徴 | ５元系スパッタ装置 |
| プラズマ用高周波電源設備 【基本仕様】 | |
|---|---|
| 型式 | TX06-9001-00 |
| 出力電力 | ０～６００W（５０Ω） |
| 出力周波数 | １３．５６MGHｚ |
| 出力方式 | 連続出力 |
| 出力インピーダンス | ５０±２Ω |
| 出力調整範囲 |
０～６００W連続可変(設定は１W刻み） 定格出力電力600W |
| 付帯設備 | 真空ポンプ３台、チラー１台、専用台車 |
| 定電圧装置 | TRANSFORMER:SA21-4000 |
