スピンコーター

遠心力を利用して薄膜を形成

基材表面に塗料を塗布するための装置です。基材の中心に塗料を滴下した後、加速度や回転数を制御しながら基材を回転することで、遠心力を利用して均一な厚みを有する膜をつくることができます。
平滑な基材にしか使用できない、大きな面積の塗布には不向きであるなどのデメリットはありますが、厚みの誤差が少ない様々な薄膜を形成することができます。
半導体やディスプレイの製造、光学メディアのコーティングなどに使用される装置です。
安価タイプ
研究や実験などワークサイズがφ4インチサイズまでで評価用途としてご利用になられるお客様向けです。
安価ではありますので、操作方法も手動になりますが回転数や回転時間のタイマーは任意の設定が可能です。
コスト重視のお客様は是非、ご検討下さい。
標準仕様
材質 【本体】カップSUS304製
ナベ蓋式 / 透明塩ビ製
装置外寸 W250×D250×H280mm
カップ径 約φ200mm
回転数 0~6,000rpm
タイマー 1~999S
ステップ 2ステップ方式
試料台 ~φ4インチサイズ
試料固定 真空吸着
電源入力 AC100V
オプション ・御指定サイズや形状の試料台
・ロック式蓋、真空ポンプなど
高性能タイプ
安価タイプにタッチパネル操作モニターによるプログラム制御機能を追加したタイプです。
また、処理終了後にはワークの任意位置出しやワークへの負荷低減の為の吸着力の微調整などお客様ご希望の機能を盛り込んだタイプです。
勿論、他にもご希望の機能がございましたらご提案させていただきます。
標準仕様
材質 【本体】カップSUS304製
ナベ蓋式 / 透明塩ビ製
装置外寸 W250×D250×H280mm
カップ径 約φ200mm
回転数 0~6,000rpm
タイマー 1~999S
ステップ 2ステップ方式
試料台 ~φ4インチサイズ
試料固定 真空吸着
電源入力 AC100V
オプション ・御指定サイズや形状の試料台
・ロック式蓋、真空ポンプなど
・インターロック付き蝶番蓋
・液晶タッチパネル式(16パターンメモリー可)
・1~8ステップ方式
・真空圧の高精度調整
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