遠心力を利用して薄膜を形成

基材表面に塗料を塗布するための装置です。基材の中心に塗料を滴下した後、加速度や回転数を制御しながら基材を回転することで、遠心力を利用して均一な厚みを有する膜をつくることができます。
平滑な基材にしか使用できない、大きな面積の塗布には不向きであるなどのデメリットはありますが、厚みの誤差が少ない様々な薄膜を形成することができます。
半導体やディスプレイの製造、光学メディアのコーティングなどに使用される装置です。