洗浄装置

超精密洗浄

研削、研磨加工の前後工程で必要になってくる洗浄。
洗浄対象物の材質やサイズ、汚染物質などに合わせてご提案させて頂きます。
超音波、スピン、スクラブ など様々な洗浄方式がございます。
横置き型

スピン+スクラブ+薬液 洗浄タイプ

洗浄→乾燥まで行えます。~Φ12インチまで対応が可能です。
実験機や研究用途の場合はコンパクトに納まる横置きタイプがおすすめです。
こちらの横置きタイプのスクラブは表面(片面)のみが通常仕様ですが、ロボットアーム機構追加による洗浄対象物反転による両面スクラブ、スクラブブラシ挟みこみによる両面スクラブも可能です。
また、横置きスピン洗浄+縦置き両面スクラブを併せた装置もあり、省スペースでもクリーン度の向上を狙えます。
純水+界面活性剤の簡易薬液洗浄からSC1洗浄、SC2洗浄等ノズルカスタムにより様々な洗浄方法へと発展させることも可能です。
対応サイズ ○or□ ~φ12
使用薬液 酸、アルカリ 各種
スクラブ 片面~両面対応
縦置き型

スクラブ+薬液+MSシャワー・洗浄タイプ

横置きに比べスペースを多くとってしまう装置になりますが量産向けに有効となります。
1プロセスごとに洗浄対象物が入ることで、枚様式タイプの洗浄装置より、1カセット(25枚分)の洗浄時間の削減が可能です。
縦置きスピン乾燥機を取り付けることにより縦型で一連の洗浄プロセスを終え、乾燥まで行うことが可能です。
対応サイズ ○ ~φ6
使用薬液 酸、アルカリ 各種
スクラブ 両面対応

実験簡易洗浄装置のご相談承ります

できるだけ小さい装置で小径ウェハの洗浄を行いたい、ウェットアウトで良いので簡易的で安価な洗浄を行いたいなどご要望に沿った簡易洗浄装置もお作りしておりますので是非ご相談下さい。

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