ウェハ洗浄のトータルソリューション
-量産から研究開発まで最適な一台を-
研磨加工の前後工程で欠かせない洗浄。
弊社では、洗浄対象物の材質・サイズ・汚染物質に応じて、最適な洗浄方式をご提案しています。
超音波・スピン・スクラブなど多彩な洗浄技術に加え、研究開発向けの簡易モデルまで幅広くラインアップ。
高い信頼性と柔軟なカスタマイズ性で、コスト・品質・生産性のすべてをサポートし、お客様のものづくりを支える最適な一台をご提案します。
横置き型
スピン＋スクラブ＋薬液 洗浄タイプ
洗浄→乾燥まで行えます。～Φ12インチまで対応が可能です。実験機や研究用途の場合はコンパクトに納まる横置きタイプがおすすめです。
こちらの横置きタイプのスクラブは表面（片面）のみが通常仕様ですが、ロボットアーム機構追加による洗浄対象物反転による両面スクラブ、スクラブブラシ挟みこみによる両面スクラブも可能です。
また、横置きスピン洗浄＋縦置き両面スクラブを併せた装置もあり、省スペースでもクリーン度の向上を狙えます。
純水＋界面活性剤の簡易薬液洗浄からSC１洗浄、SC２洗浄等ノズルカスタムにより様々な洗浄方法へと発展させることも可能です。
| 対応サイズ | ○or□ ～φ12 |
|---|---|
| 使用薬液 | 酸、アルカリ 各種 |
| スクラブ | 片面～両面対応 |
縦置き型
スクラブ＋薬液＋MSシャワー・洗浄タイプ
横置きに比べスペースを多くとってしまう装置になりますが量産向けに有効となります。１プロセスごとに洗浄対象物が入ることで、枚様式タイプの洗浄装置より、1カセット（25枚分）の洗浄時間の削減が可能です。
縦置きスピン乾燥機を取り付けることにより縦型で一連の洗浄プロセスを終え、乾燥まで行うことが可能です。
| 対応サイズ | ○ ～φ6 |
|---|---|
| 使用薬液 | 酸、アルカリ 各種 |
| スクラブ | 両面対応 |
φ8インチ用簡易スクラブ洗浄装置
片面タイプ
実験評価や試作に最適な、手軽に使えるφ8インチ用片面スクラブ洗浄装置です。 手動操作により、さまざまな条件を自在に調整でき、研究段階での最適プロセス探索に最適。 スクラブ洗浄からスピンドライまでを一台で完結し、省スペース・低コストを実現しました。 簡便ながら確かな洗浄性能を備え、研究室や開発現場でのスピーディな導入が可能です。
| 標準仕様 | |
|---|---|
| 本体サイズ | 500Wx500Dx1100H (mm) |
| スクラブ | |
| ウェハサイズ | φ8インチ |
| ロールブラシ回転機構 | 回転：Max 400rpm |
| ウェハ回転機構 | 回転：Max 200rpm |
| リンスシャワー | 表面、裏面 流用手動調整 純水 |
| スピンナドライ | |
| リンス | 表面、裏面 流量手動調整 純水 |
| N2ブロー | Max 50L/min N2 |
| スピン回転機構 | 回転：Max 2000rpm |
両面タイプ
φ8インチウェハに対応したコンパクトな両面スクラブ洗浄装置です。 垂直設置構造により設置スペースを抑えつつ、両面同時洗浄で高い効率と再現性を実現。 手動式のため条件設定が自由で、試作や評価段階での多様な実験に柔軟に対応します。 安価ながら堅牢設計で扱いやすく、研究開発のスピードアップとコスト削減に貢献します。
| 標準仕様 | |
|---|---|
| 本体サイズ | 500Wx500Dx1200H (mm) |
| スクラブ | |
| ウェハサイズ | φ8インチ |
| ロールブラシ回転機構 | 回転：Max 400rpm |
| ウェハ回転機構 | 回転：Max 200rpm |
| リンスシャワー | 表面、裏面 流用手動調整 純水 |
