治具とウェハ／ウェハとウェハの貼付を精度よく、より安全に
指定のホットプレート上で任意の温度でウェハ及び貼付け板を加熱させ、本装置内のマウンタープレート上に真空吸着し任意の温度及び時間にて、加圧を行う事でウェハを貼付ける装置です。
FLTec-WMN2-IB型
装置本体は作業者の安全を最優先に設計されており、各動作において安心してご使用いただけるよう配慮されています。
プレッシャープレート動作中は、安全設計により作業エリアへの手の侵入を防止しています。
シャッターがオープンしている作業時には、安全を確保するため加圧動作を行わない設計となっております。
操作はタッチパネルで簡単に行え、手動（Manu）・自動（Auto）のモード選択が可能です。
Autoモードでは、加圧時間、加熱温度・時間、急冷・徐冷など、さまざまな設定が柔軟に行え、作業の最適化をサポートします。
操作はタッチパネルで簡単に行え、手動（Manu）・自動（Auto）のモード選択が可能です。
Autoモードでは、加圧時間、加熱温度・時間、急冷・徐冷など、さまざまな設定が柔軟に行え、作業の最適化をサポートします。
| 標準仕様 | |
|---|---|
| 外形寸法 | W500×D650×H750mm 扉開放時 H1408mm |
| 本 体 | 外装 透明PVC製カバー＋アルミフレーム |
| 他構成 | |
| ホットプレート | ～300℃ |
| シャッター | フリーストップ機能付 |
| 上プレート | SUS製 φ140 フロート機構 45kg荷重(エア圧0.22MPa時) |
| 下プレート |
真空チャックベース ポジショニングライン入 加熱用ヒーター150℃ 冷却用水冷機構付 |
| 電装box | 別置制御盤＋漏水センサー用別置制御盤 |
| 制御用リモコン | 緊急停止ボタン＋主電源ON・OFFスイッチ |
| オプション |
ウェーハマウンタ設置用SUS製テーブル W1200×D750×H801.5 チラー 真空用ポンプ 耐震固定金具 SUS製ドレンパン ワークスライド移動用治具 |
