その他各種ウェーハ

各種基板材料のご提供

Siウェーハ以外にもSiCやGaN、GaAs、ガラス類など各種ウェーハの御取扱いがございます。
各種ウェーハ仕様
製品名 サイズ 厚み(μm)
SiC(炭化ケイ素) Φ2~
6インチ
330・350・430
SiO2(石英) Φ1~
6インチ
100~50,000
GaAs(ガリウム砒素) Φ2~
6インチ
350~675
GaP(リン化ガリウム) Φ2~
3インチ
250~1000
InAs(インジウム砒素) Φ2~
3インチ
500,625
InP(リン化インジウム) Φ2~
4インチ
350~675
Al2O3(サファイア) Φ1~
8インチ
150~3000
ZnO(酸化亜鉛) 10~
20mm
500・1000
LiNbO3(ニオブ酸リチウム) Φ2~
6インチ
250~500
LiTaO3(タンタル酸リチウム) Φ2~
6インチ
250~500
※ 上記(標準厚)以外の厚みについては別途ご相談ください。
ウェーハケース
各種サイズのウェーハケースの取り扱いがございます。
25枚入るカセットケース、枚葉ケース、薄厚加工時のウェーハを入れるプロトスケースなどがございます。

お問い合わせ

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