成膜加工
種類 | 製法 | 膜種 |
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酸化膜系 | 熱酸化膜 | 薄膜熱酸化膜 |
超厚膜熱酸化膜 | ||
LP-CVD | LP-SiO2、HTO、LP-TEOS | |
PE-CVD | PE-SiO2、PE-TEOS、HDP、Low-k(BD、BDⅡ、AURORA、CORAL)、PSG、NSG、BPSG | |
スピンコート | SOG | |
アニール炉 | RTO | |
窒化膜系 | LP-CVD | LP-SiN |
PE-CVD | PE-SiN | |
シリコン膜 | LP-CVD | Poly-Si |
Amorphous-Si | ||
有機膜系 | スピンコート | G線 レジスト、I線 レジスト、KrF レジスト、ArF レジスト、ポリイミド(感光性、非感光性) |
メタル系 | スパッタ | Al、Al-Si、Al-Si-Cu、Al-Cu、Ti、TiN、Ta、TaN、Cr、Cu、W、Ni、Au、Pt、ITO、その他 |
メッキ | Ti、Ni、Au、Cu その他 | |
CVD | W-Si |
再生加工