供給装置

使用される薬品類に合わせた
材質選定とカスタムメイド

スラリー・薬液供給装置とは、任意に設定した濃度に調合した液を連続的に供給することができます。
また、必要な供給先の装置との連動、制御を行う事で自動運転を可能としておりますので必要な時に必要な量だけ供給運転させることもできます。
調合液が無くなってきた場合には、自動で調合しますので自動運転時に供給液を止める事無く連続運転を行う事が可能としております。特に弊社の実績では、半導体関連のウェハ加工用のCMP装置への供給システムとして最適な装置をご提案させていただいております。
また、使用される薬品類(酸、アルカリ、スラリー種など)に合わせた材質選定(塩化ビニル製、テフロン製など)をし、お客様のご要望に応じた内容にてカスタムメイドいたします。
サイズはもとより、調合槽や棚などの設置位置、シャワーノズル、タッチパネルによるプログラム制御など液種による排水切替や、内部環境の排気なども対応いたします。
据置き型

スラリー供給装置

研磨装置へ供給するスラリーを原液タンクから装置内の調合タンクにて任意の濃度で調合します。
調合の際には、スラリー原液とは別に他の薬品や純水なども任意の量で調合しますので必要な濃度に調合する事が可能です。
濃度の測定や、温度の制御、調合液の待機時の攪拌などご希望の仕様に合わせたプロセスを組み込んだ装置で対応させていただきます。
  • スラリー調合
  • 定量液送
  • プログラム制御
  • 調合槽30L
  • 2層タイプ
  • 原液タンク 2個
  • 一般/スラリー排水自動切替
薬液供給装置
洗浄装置へ供給する洗浄剤を原液タンクから装置内の調合タンクにて任意の濃度で調合します。
調合の際には、洗浄剤原液とは別に他の薬品や純水なども任意の量で調合しますので必要な濃度に調合する事が可能です。
濃度の測定や、温度の制御、調合液の待機時の攪拌などご希望の仕様に合わせたプロセスを組み込んだ装置で対応させていただきます。
  • フッ酸調合
  • 定量液送
  • プログラム制御
  • 調合槽30L
  • 2層タイプ
  • 原液タンク 1個

詳細写真

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