汎用小型スピンコーターを開発中です

従来の安価タイプのスピンコーターを更にお求めやすいように出来る限りコストダウンしました。

機能は従来通り2段ステップ型、ウェハサイズもmaxφ4インチまで対応可能です。

回転数は200rpm～5,000rpmでの制御範囲です。

また、蓋や真空吸着のインターロックもオプション対応可能です。

さらに、従来よりも高さを低くしていますので安定性と合わせて装置の持ち運びも容易になります。

詳細仕様につきましては、別途掲載いたします。