研磨装置
研磨装置
平面、鏡面加工で必要とされる研磨（ラップ・ポリッシュ）装置。
加工対象物の材質やサイズ、処理個数などに合わせてご提案させていただきます。
据置型研磨装置
＝Fltec-Sシリーズ＝
さまざまなデバイスの高集積化、電子部品や精密部品の高精度加工など産業のニーズに応えるうえでラッピング・ポリッシングなどの研磨方法は重要な加工技術となっています。特にファインセラミックス、超精密光学部品、磁気ヘッドなどの表面創成にはかかせない加工方法といっても過言ではありません。ラッピング・ポリッシングマシーンFltec-Sシリーズは、従来のラッピング・ポリッシング加工でのさまざまな問題を克服しあらゆる高精度を要求する分野に挑戦したラッピング・ポリッシングマシーンです。
Fltec-15S
Fltec-15S 加圧ｼﾘﾝﾀﾞｰ付
Fltec-24S
＜特徴＞
１．高精度スピンドル
ラッピング・ポリッシング加工においてテーブル面振れ精度を極限まで追求した超高精度スピンドルを採用し、加工中のスクラッチ発生も除去、安定した加工レートを実現しました。
２．水冷機構
標準仕様としてテーブル受プレートに循環式水冷機構を搭載しています。したがって、ラップ・ポリッシング中の発熱をおさえることができ、プレートの平坦度を常に管理・維持し恒久的に安定したラッピング・ポリッシングが可能です。
３．フェーシング装置
片面ラッピングマシーンの最重要課題であるプレート平面度管理をこのフェーシング装置により誰でも簡単に行えプレートの平面度を追求することができます。
４．オシレーション機構、強制ドライブ機構
パワフルなオシレーション機構と強制ドライブ機構採用でさまざまな分野の製品に幅広く対応いたします。
５．バリエーション豊かなオプション機構
加圧機構、CMPヘッド搭載、エンドポイント検出、スラリータンクや供給機構等
＜装置標準仕様＞
| 装置シリーズ | Fltec-Sシリーズ |
|---|---|
| プレート径 | φ380mm（φ610mm） |
| プレート回転 | 0～200r／min |
| プレート冷却方式 | 恒温水循環方式 |
| フェーシングバイト送り速度 | 0～500mm／min |
| オシレーションストローク | 0～30mm（0～45mm） |
| ドライブ数 | 2軸／無段階速度 |
| バイト切込量 | 最小0.01mm |
| ドライブ方式 | ベルト伝達駆動 |
＝Fltec-Mシリーズ＝
＜装置標準仕様＞
| 装置型番 | Fltec-24M |
|---|---|
| 本体サイズ | 1510Wx1060Dx1237H (mm) |
| 本体重量 | 800kg |
|
電源 |
AC200 3相
メインモーター ： 1.5kw ポンプ ： 0.25kw |
| 定盤寸法 | Φ610 |
| 修正リング径 | 外径φ280×内径φ247㎜ |
| リング回転 | 自然公転 |
| 同時加工数 | 3軸 |
| テーブル回転数 | 0～60rpm |
| 始起動 | スロースタート・スローストップ機構 |
| パウダー供給方式 | 敵下式 |
フェーシング付研磨装置
試料研磨用卓上簡易型研磨装置
Fltec-06
テーブル回転速度、加工時間を設定したのち、加工対象となるワークを
テーブルの上にセットし、あとはスタートボタンを押すだけの簡単操作です。
どなたでも簡単にラップ・ポリッシュが行えます
＜装置標準仕様＞
| 本体サイズ | 340Wx220Dx320H (mm) |
|---|---|
| テーブルサイズ | φ150(mm) |
| 電源 | AC100 3相5A |
| テーブル回転速度 | 0~80rpm 無段階変速 |
| 加工時間設定 | 1～999S |
卓上型研磨装置
Fltec-15
＜装置標準仕様＞
| 本体サイズ | 650Wx480Dx340H (mm) |
|---|---|
| 本体上部乗せタイプカバー寸法 | 870Wx700Dx400H (mm) |
| トータル寸法 | 870Wx700Dx740H (mm) |
| 本体重量 | 約100kg (塩ビカバー定盤含む) |
| 定盤重量 | 約15kg |
| テーブルサイズ | φ380(mm) |
| 研磨試料最大径 | φ180(mm) |
| 電源 | AC200 3相10A |
| テーブル回転速度 | 0~70rpm |
| テーブル回転数設定 | ボリューム設定デジタル表示 |
| 加工時間設定 | 1S(最少)～9999h(最大) |
卓上型研磨装置
Fltec-15SP
＜装置標準仕様＞
| 本体サイズ | 650Wx480Dx340H (mm) |
|---|---|
| 作業台サイズ | 870Wx700D (mm) |
| 本体重量 | 約150kg (定盤含む) |
| 定盤重量 | 約30kg (定盤含む) |
| テーブルサイズ | φ380(mm) |
| 研磨試料最大径 | φ180(mm) |
| 電源 | AC200 3相10A |
| テーブル回転速度 | 0~70rpm |
| テーブル回転数設定 | ボリューム設定デジタル表示 |
| 加工時間設定 | 1S(最少)～9999h(最大) |
リニューアル対応 実施例
