各種基板材料のご提供
Siウェーハ以外にもSiCやGaN、GaAs、ガラス類など各種ウェーハの御取扱いがございます。
各種ウェーハ仕様
| 製品名 | サイズ | 厚み(μm) |
|---|---|---|
| SiC（炭化ケイ素） |
Φ2～ 6インチ |
330・350・430 |
| SiO2（石英） |
Φ1～ 6インチ |
100～50,000 |
| GaAs（ガリウム砒素） |
Φ2～ 6インチ |
350～675 |
| GaP（リン化ガリウム） |
Φ2～ 3インチ |
250～1000 |
| InAs（インジウム砒素） |
Φ2～ 3インチ |
500,625 |
| InP（リン化インジウム） |
Φ2～ 4インチ |
350～675 |
| Al2O3（サファイア） |
Φ1～ 8インチ |
150～3000 |
| ZnO（酸化亜鉛） |
10～ 20mm |
500・1000 |
| LiNbO3（ニオブ酸リチウム） |
Φ2～ 6インチ |
250～500 |
| LiTaO3（タンタル酸リチウム） |
Φ2～ 6インチ |
250～500 |
ウェーハケース
各種サイズのウェーハケースの取り扱いがございます。
25枚入るカセットケース、枚葉ケース、薄厚加工時のウェーハを入れるプロトスケースなどがございます。
25枚入るカセットケース、枚葉ケース、薄厚加工時のウェーハを入れるプロトスケースなどがございます。
