高性能デバイス開発を支える
次世代ワイドバンドギャップ
半導体材料
GaN基板は、青紫色レーザ（Blu-ray）、高出力LED、純緑色レーザなどの光デバイスに加え、高周波デバイスやパワーデバイス開発に広く利用されています。近年はレーザプロジェクタ向けに、非極性・半極性基板を用いた青色／緑色レーザの研究も進んでいます。当社では、GaNテンプレートおよびHVPE法によるGaN自立基板（バルク）を販売しており、研削・研磨などの受託加工にも対応しております。
GaN Template（GaN on Sapphire など）
サファイアやSiC、Siなどの基板上にGaN層を形成した材料で、LED・LDなどの光デバイス開発に広く利用されているGaNテンプレート。量産性が高く、初期成膜の品質安定化や歩留まり向上に有効です。非極性・半極性にも対応しており、青色・緑色レーザなど波長制御が求められる用途にも適しています。
仕様
| 標準仕様 | ||
|---|---|---|
| 直径 | Φ2″、Φ3″、Φ4″、Φ6″ | |
| GaN膜厚 | 3μm、3.5μm、4μm、4.5μm、6μm、～100μm特別指定可能 | |
| 結晶方位 | C-axis（0001） | |
| 導電タイプ | Un Dope、N-type、P-type | |
| 転移密度 | ≦ 5×108／cm2 | |
| XRD | （002）≦ 300arcsec、（102）≦400arcsec | |
| 結晶構造 | GaN on Sapphire ／ GaN on Silicon ／ GaN on SiC | |
| Sub基板 | サファイア基板 ／ シリコン基板 ／ SiC基板 ／ GaAs基板 | |
| 梱包 | クリーンルーム（クラス100）、25枚入りカセットケース、シングルケース | |
Standing GaN Substrate（GaNバルク、GaN自立基板）
HVPE法で成長したGaN自立基板（バルク）は、高結晶性・低欠陥密度を実現した高品質GaN基板です。熱伝導性にも優れ、パワーデバイスや高出力レーザなど、高性能が求められるアプリケーションに最適です。
仕様
| 標準仕様 | ||
|---|---|---|
| 品目 | SF-ncA-Ф50 | SF-ncA-Ф100 |
| 直径 | Ф2″ | Ф4″ |
| 有効面積 | > 90% | |
| 厚さ | 350 ± 25 μm／400 ± 30 μm／450 ± 30 μm | |
| 結晶方位 | C-axis（0001）±0.5° | |
| OF方位 | （1-100） ± 0.5°, 16 ± 2mm | （1-100） ± 0.5°, 32 ± 2mm |
| SOF方位 | （11-20） ± 3°, 8 ± 2mm | （11-20） ± 3°, 16 ± 2mm |
| TTV | ≦15 μm | ≦20 μm |
| BOW | ≦20 μm | ≦60 μm |
| タイプ |
Un-dope（N-type)／ Si-dope (N-type) C-dope (Semi-Insulating) Fe-dope (Semi-Insulating) |
|
| 抵抗値(300K) | ≦ 0.5 Ω・cm／≦ 0.05 Ω・cm／≧ 1E8 Ω・cm | |
| 転位密度 | ≦ 1×106 cm-2 | ≦ 1×107 cm-2 |
| 表面粗さ |
表面：Ra < 0.3nm エピ対応研磨済み 裏面：研磨済み |
|
| 梱包 |
クリーンルーム（クラス100） 25枚入りカセットケース シングルケース |
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GaN自立基板（バルク）カスタムサイズ
| 標準仕様 | ||
|---|---|---|
| 品目 | SF－ncA－L18 | SF－ncB－L18 |
| 直径 |
（10±0.5）mm×（15±0.5）mm Customized |
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| 有効面積 | > 90% | |
| 厚さ | 400 ± 30 μm | 450 ± 30 μm |
| 結晶方位 | C-axis（0001）±1° | |
| TTV | ≦10 μm | |
| BOW | ≦10 μm | |
| タイプ |
Un-dope（N-type）／ Si-dope (N-type）／ C-dope (Semi-Insulating) |
|
| 抵抗値(300K) | ≦ 0.5 Ω・cm ／ ≦ 0.05 Ω・cm ／ ≧ 1E8 Ω・cm | |
| 転位密度 | ≦ 5×106 cm-2 | |
| 表面粗さ |
表面：Ra < 0.3nm エピ対応研磨済み 裏面：研磨済み |
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| 梱包 |
クリーンルーム（クラス100） 25枚入りカセットケース シングルケース |
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