研磨を主軸とした超精密加工
フロントラインテクノロジー株式会社
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スピンコーター

スピンコーター

半導体製造工程や研究機関におけるシリコンウエハーやガラス基盤などへのレジスト等の薬剤を効率よく回転塗布する為に欠かせないスピンコーターです。
安価タイプから高性能タイプなど、細かい点までご要望に沿った仕様でご提案致します。

安価タイプ


安価タイプ

材質 【本体】カップSUS304製
ナベ蓋式 / 透明塩ビ製
装置外寸 W250×D250×H280mm
カップ径 約φ200mm
回転数 0~6,000rpm
タイマー 1~999S
ステップ 2ステップ方式
試料台 ~φ4インチサイズ
試料固定 真空吸着
電源入力 AC100V
オプション 御指定サイズや形状の試料台
ロック式蓋、真空ポンプなど

高性能タイプ


高性能タイプ

高性能タイプの仕様は、安価タイプ仕様に以下の内容が追加された仕様となっております。

  • インターロック付き蝶番蓋
  • 液晶タッチパネル式(16パターンメモリー可)
  • 1~8ステップ方式
  • 真空圧の高精度調整
  • 開始/終了時での試料位置決め
  • 終了時逆圧による試料取り外し安易

その他、細かい点までご要望に沿った仕様でご提案いたします。

スピンコーターデジタルカタログ