研磨を主軸とした超精密加工
各種装置
現在までにご提供させて頂いている装置の他、常に進化し続けるニーズにご対応させて頂けるよう、御打合わせを重ねて新規設備の設計・開発も行います。
研磨装置
各種半導体材料はもとより、セラミックスや金属、またガラス等の光学部品など様々な材料に要求される超高精度な平面精度、面粗度を実現
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洗浄装置
洗浄対象物の材質やサイズ、汚染物質等に合わせた各種洗浄方式
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ドラフトチャンバー
ドラフトチャンバー発生する有害物質から、作業者や室内を保護するための局所排気装置 »»» 詳しく見る
供給装置
危険物質や有害物質などから作業者及び室内を保護し、スラリー・薬液調合を行う供給装置 »»» 詳しく見る
スピンコーター
半導体製造工程や研究機関におけるシリコンウエハーやガラス基盤などへのレジスト等の薬剤を効率よく回転塗布する為に欠かせないスピンコーター »»» 詳しく見る
